多工位硅片甩干機，半導體晶片甩干機
SP-600 型旋轉沖洗甩干機是一種對藍寶石襯底片，鍺片，半導體硅片等進行快速清洗、離心脫水，然后再進行烘干的全自動化設備。本系列機型可以適應從φ25mm 到φ200mm 直徑（包括方形和其它特殊形狀）片式材料的旋轉沖洗甩干工藝?？捎糜诎雽w晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學鏡片、磁盤、光盤、醫用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干。
圖1 SP-600 型旋轉沖洗甩干機外觀照
多工位晶圓甩干機
應用領域：可用于半導體新材料晶片、硅，砷化鎵、碳化硅，掩
膜版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學鏡片、磁盤、光
盤、醫用玻璃基片等類似材料片子的高潔凈度沖洗甩干?？蛇_到
同類進口設備性能。
外觀：
1）外形尺寸：長1059mm*寬959mm*高786mm
2）機身結構：不銹鋼骨架+進口PP板外殼
3）適用2”-8”晶圓加工
工藝參數
1）PSC-X可視化觸摸控制系統，可存儲和運行九個可編程的配方，每個配方步驟時間0-999秒
2）旋轉速度：300-1000r/min
設備配置
1）快速拆卸更換轉子（單螺栓）
2）超高潔凈閥門管件
3）無需氮氣，通過獨特設計的進風系統，經過超凈高效系統過濾后的新風，實現快速風干
4）沖水清洗功能（可選配）
5）靜電消除裝置和電阻率檢測控制和探頭（可選配）
動力參數
1）電氣：220V，3KW
2）CDA：Φ10氣管，壓力：0.25-0.3Mpa，流量：1L/min
3）DI：OD3/8管，壓力：0.3-0.4Mpa，流量：20-25L/min（無選配沖水功能無此項）
4）排水：OD32mm(UPVC)