多工位硅片甩干機,半導體晶片甩干機
SP-600 型旋轉沖洗甩干機是一種對藍寶石襯底片,鍺片,半導體硅片等進行快速清洗、離心脫水,然后再進行烘干的全自動化設備。本系列機型可以適應從φ25mm 到φ200mm 直徑(包括方形和其它特殊形狀)片式材料的旋轉沖洗甩干工藝??捎糜诎雽w晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學鏡片、磁盤、光盤、醫用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干。
SP-600 型旋轉沖洗甩干機是一種對藍寶石襯底片,鍺片,半導體硅片等進行快速清洗、離心脫水,然后再進行烘干的全自動化設備。本系列機型可以適應從φ25mm 到φ200mm 直徑(包括方形和其它特殊形狀)片式材料的旋轉沖洗甩干工藝??捎糜诎雽w晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學鏡片、磁盤、光盤、醫用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干。
圖1 SP-600 型旋轉沖洗甩干機外觀照
多工位晶圓甩干機
應用領域:可用于半導體新材料晶片、硅,砷化鎵、碳化硅,掩
膜版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學鏡片、磁盤、光
盤、醫用玻璃基片等類似材料片子的高潔凈度沖洗甩干??蛇_到
同類進口設備性能。
外觀:
1)外形尺寸:長1059mm*寬959mm*高786mm
2)機身結構:不銹鋼骨架+進口PP板外殼
3)適用2”-8”晶圓加工
工藝參數
1)PSC-X可視化觸摸控制系統,可存儲和運行九個可編程的配方,每個配方步驟時間0-999秒
2)旋轉速度:300-1000r/min
設備配置
1)快速拆卸更換轉子(單螺栓)
2)超高潔凈閥門管件
3)無需氮氣,通過獨特設計的進風系統,經過超凈高效系統過濾后的新風,實現快速風干
4)沖水清洗功能(可選配)
5)靜電消除裝置和電阻率檢測控制和探頭(可選配)
動力參數
1)電氣:220V,3KW
2)CDA:Φ10氣管,壓力:0.25-0.3Mpa,流量:1L/min
3)DI:OD3/8管,壓力:0.3-0.4Mpa,流量:20-25L/min(無選配沖水功能無此項)
4)排水:OD32mm(UPVC)