SEMITOOL產品中的SRD旋轉沖洗甩干機是根據國際、國內半導體產業的發展和市場需求，研究開發的旋轉沖洗甩干設備。該機型具有高潔凈度旋轉沖洗甩干功能。本系列機型可以適應從直徑（包括方形和其它特殊形狀）片式材料的旋轉沖洗甩干工藝?？捎糜诎雽w晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學鏡片、磁盤、光盤、醫用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干。是半導體濕法清洗工藝中必不可少的主流設備之一。

一、配置

870S 雙腔室甩干機 1 臺，隨機配客戶指定尺寸轉子2個，專用拆卸工具 1 個

二、部件及性能特點

1.控制及顯示升級控制器，采用工業級 PLC 控制，控制器型號：PSC-X，觸摸屏顯示。同時與Semitool老款PSC-101,PSC-102控制器可實現無縫替代。

2.電阻率監控 去離子水電阻率監控儀，測量范圍 0-18.3 兆歐

3．腔體加熱

清洗腔體頂部設置高性能加熱部分，以便在最短時間內將水滴氣化。

4.氮氣加熱

氮氣通過加熱棒加熱后吹掃片子熱氮溫度 70-80℃（可按需求定制） 

5.驅動單元 

實現在工作范圍內的速度精確控制和設定，驅動單元應采用無刷電機

6.減震組件 高性能阻尼減震器

7.腔體、片架載體

腔體及載體要采用316L不銹鋼材料加工，電化學拋光處理表面，腔體與軸采用無接觸氮氣密封，腔體門蓋采用專用密封圈，用充氮氣方式進行密封。片架載體可方便更換。

8.防靜電單元

防靜電單元采用高壓氮氣電離進行防靜電控制9.防管路元件

進入腔體的管路元件采用進口 PFA 高純管件。

10.機架

機架采用 304 不銹鋼材料，能夠滿足潔凈室工作環境。

11.門

通過氮氣吹入密封圈使門密封。

12. 地腳，輪

輪子完整無損傷，可以輕松的推動。地腳無變形，無生銹，可以自由調節高度。

三、 技術性能指標：

1.電源及電氣控制安全性技術要求： 1.1 電壓：110/220VVAC

1.2頻率：50Hz

1.3功率：6KW

1.4整機絕緣電阻大于 2M 歐(用 1000V 兆歐表測量)

1.5各功能開關、按鍵、安全互鎖功能、緊急開關使用靈活、動作可靠。

1.6設備表面平整、光滑、色調一致。2.技術指標：

2.1 加工晶片規格：2/3/4/6 寸（50-150mm）

2.2 工作腔數量：2 個

2.3 工作轉速 300-2400 轉/分

2.4 氮氣加熱標準溫度70-80℃（客戶指定）

2.5 電阻率檢測裝置可檢測0-18.3 兆歐。

2.6 加熱毯加熱正常

2.7轉子按客戶提供特氟龍片架樣品定制

2.8腔體及載體表面進行電化學拋光處理，無明顯劃痕

2.9氮氣需要安裝過濾器，過濾精度 0.003um

2.10電磁閥組、驅動氣管、門密封無漏氣現象

2.11旋轉載體定位功能

2.10顆粒度檢測，運行正常工藝程序顆粒達到要求值。

2.11程序運行結束后腔體內不能存有無水珠

2.12安裝回水調節閥

2.13滿載晶片高速旋轉運行平穩，震動小，能夠滿足工藝要求。

2.14設備排水口管徑：32mm（upvc）

2.15氮氣管接入管徑：3/8 英寸 (進口潔凈型 PFA 管)

2.16純水管接入管徑：3/8 英寸 (進口潔凈型 PFA 管) 3.參數設定：

沖洗，吹凈，烘干 1，烘干 2 時間轉速可以自由設定。四、設備交付以及安裝培訓與服務

4.1設備交付除完成設備的安裝調試及試運行外，賣方將提供操作、調試、維修的全套技術資料，原廠的操作維修手冊。

4.1.1使用說明書、維修手冊。

4.2安裝、培訓與服務

4.2.1負責在客戶工廠對設備進行安裝調試至設備正常運轉，調試完成后對客戶提供現場培訓，培訓包括正常操作、維修、保養、操作、問題的分析和緊急處理程序；

4.2.2設備交付使用與售后技術服務：設備交付客戶使用（驗機OK）后， 保證：

1）一年內提供無償售后服務，非人為操作造成的零部件損壞由我司無償維修：

2）設備在保修期內出現故障我司接到客戶請求維修服務信息后保證能在三個工作日內派工程師到訪，維修完成后給客戶一份詳細的故障報告.