單片甩干機

應用領域： 單片甩干機機是高潔凈度清洗甩干設備, 具有高速甩干，快速烘干，效率高的特點，不同晶圓尺寸，可通過快速更換甩干頭來實現。是濕法清洗工藝的主要設備，體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的干燥工藝。具有成本低，快速應用生產等優點。

外      觀

1）外形尺寸：

2）機身結構：進口PP板外殼

3）適用2”-8”晶圓加工

工藝參數

1）簡便直接調速面板

2）旋轉速度：100-6000 r/min

3) 運行時間：0-999S

設備配置

1）快速拆卸更換甩干頭（快插式）

2）超高潔凈閥門管件

4）噴藥沖水清洗功能（可選配）

5）氮氣加熱吹凈 （可選配）

5）靜電消除裝置和電阻率檢測控制和探頭（可選配）

動力參數

1）電氣：220V，1KW

2）N2：OD3/8管，壓力：0.25-0.3Mpa，流量：20L/min（無選配氮氣加熱功能無此項）

3）DI：OD3/8管，壓力：0.3-0.4Mpa，流量：10L/min（無選配沖水功能無此項）

4）排水：OD 15mm(UPVC)