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      單片甩干機-半導體晶片甩干機-晶圓單片甩干機-硅片單片甩干機-wafer甩干機

      單片甩干機用于硅片,砷化鎵片,藍寶石片,碳化硅片,磷化銦片,玻璃片等半導體晶片,高速旋轉干燥。

      二手半導體設備,SEMITOOL甩干機,晶片檢測強光燈,單片甩干機,半導體設備維修|半導體設備改造,空氣軸承維修,內圓鋸維修,倒角機維修

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      單片甩干機


      應用領域: 單片甩干機機是高潔凈度清洗甩干設備, 具有高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換甩干頭來實現。是濕法清洗工藝的主要設備,體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的干燥工藝。具有成本低,快速應用生產等優點。

      外      觀

      1)外形尺寸:

      2)機身結構:進口PP板外殼

      3)適用2-8”晶圓加工

      工藝參數

      1簡便直接調速面板

      2)旋轉速度:100-6000 r/min

      3) 運行時間:0-999S

      設備配置

      1)快速拆卸更換甩干頭(快插式)

      2)超高潔凈閥門管件

      4噴藥沖水清洗功能(可選配)

      5)氮氣加熱吹凈 (可選配)

      5)靜電消除裝置和電阻率檢測控制和探頭(可選配)

      動力參數

      1)電氣:220V,1KW

      2N2OD3/8管,壓力:0.25-0.3Mpa,流量:20L/min(無選配氮氣加熱功能無此項)

      3DIOD3/8管,壓力:0.3-0.4Mpa,流量:10L/min(無選配沖水功能無此項)

      4)排水:OD 15mm(UPVC) 


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